Главная цель проекта "Разработка и организация производства фотолитографического, контрольного, сборочного оборудования для изготовления СБИС" - развитие специального технологического машиностроения в России и Беларуси, призванного работать на нужды военно-промышленного комплекса, космических информационных технологий, бытовой электроники. Главный исполнитель программы -- белорусский государственный научно-производственный концерн точного машиностроения "Планар", специализирующийся в области разработки и изготовления прецизионного оборудования для производства изделий микроэлектроники на базе высокоразрешающих оптических систем, быстродействующих модульных систем технического зрения. В соответствии с задачами программы "Планар" разрабатывает, изготавливает и испытывает современное оптико-механическое, литографическое, контрольное и сборочное оборудование для производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) технологического уровня до 0,35 мкм. Готовые образцы оборудования концерн поставляет предприятиям микроэлектронной промышленности России и Беларуси. Конечная цель проекта -- наладить серийный выпуск оборудования для полного удовлетворения потребностей предприятий в нем.
В настоящее время доля поставок продукции, выпускаемой "Планаром", на предприятия микроэлектронной промышленности России составляет около 20%. Российские предприятия электронной промышленности пока не оправились от кризиса и загружены сегодня всего на 20-30%. ПО "Интеграл" традиционно потребляет до 10% продукции концерна, экспорт в дальнее зарубежье стабильно держится на уровне 70% всех объемов. Поскольку качество интегральных схем определяется технологическим уровнем оборудования, на котором они изготавливаются, то все технологические программы компаний, лидирующих в области электроники, строятся на разработке нового класса фотолитографического и сборочного оборудования. "Планар" использует мировой опыт, направляя работы и собственные средства в "русло" утвержденной в прошлом году подпрограммы "Разработка и организация производства фотолитографического, контрольного, сборочного оборудования для изготовления СБИС". Сметная стоимость этой подпрограммы оценивается в 400 млн российских рублей.